近日，中微公司宣布其全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。
据悉，本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化镓基Mini-LED外延片量产。
中微公司介绍，作为专为高性能Mini-LED量产而设计的MOCVD设备，Prismo UniMax®具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。
同时，Prismo UniMax®配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。
此外，Prismo UniMax®创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升LED波长均匀性。
中微公司表示，公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入量产。
Prismo UniMax®是MOCVD设备系列新一代产品，该产品系列还包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。
